- 产品描述
- 应用案例
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- 商品名称: 在线式真空等离子处理设备
- 产品型号: YJ-P
输入电源/功率/频率 380V 5kw 50/60Hz 等离子功率 600W/13.56MHz 工作气体 AR.H2.02.N2(多路气体可选) 气体通道 2路气体 腔体尺寸 540*320*70mm(L**H内腔) 腔体体积 14L 流道数量 4通道(可定制) 有效处理面积 Max:300*100mm (长*宽) Min :150*40mm (长*宽) 流量范围 0-50sccm 真空泵 IVP千泵 真空计 英福康inficon/爱发科ulvac 流量计 warwick质量流量计 产品/料盒 依客户产品尺寸 PLC/HMI 汇川、台达、威纶通、工控一体机 伺服系统 松下、汇川、三菱、鸣志 丝杆/模组 上银、TBI、国产优质 气路元器件 亚德克、SMC 传感器 欧姆龙、松下、国产优质品牌 UPH 350pcs-750pcs/H 设备尺寸 1800Lx1200Wx1750Hmm(不含三色灯) 注意:腔体结构和核心配件可以跟据实际使用需求进行个性化定制和选配。
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