腔体式真空等离子清洗机

腔体式真空等离子清洗机是指在密闭真空腔体内进行等离子处理的设备，利用高频发生器在真空条件下将工艺气体电离形成等离子体，对被处理工件表面进行物理轰击与化学反应，实现清洗、活化、刻蚀、涂覆等多种表面处理功能。其显著特点为高均匀性辉光放电，材料处理温度接近室温，是目前应用最为广泛的等离子清洗设备类型之一。

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产品描述
应用案例

商品名称: 腔体式真空等离子清洗机
产品型号: YJ-VPO-BR330

特点：

腔体尺寸可灵活定制，电源、真空泵等各类配件可按照实际清洗材料自由定做；
与常压等离子相比，具有清洗工艺参数自由调节、温度低、清洗全面等特点；
电极板可根据产品尺寸调整，适用不同的产品形状及尺寸，可选择不同工艺处理；
显著特点为高均匀性辉光放电，材料处理温度接近室温；
腔体结构可根据产品结构尺寸需求定制，兼容性强，配有多个料车，通过推车上下料，方便快速；
可进行等离子表面活化/清洗、粘合、蚀刻/活化、去胶、涂镀（亲水/疏水）、涂覆、灰化和表面改性等多种功能处理；
冷却水路设计，精准控制腔体及极板温度；
操作简便，自动化程度高，工艺效率极高，环保无污染。

应用行业：

印制线路板行业、半导体IC领域、硅胶/塑胶/聚合体领域、汽车电子行业、航空工业、新材料研发、医疗器械制造等。

应用案例：

汽车内饰件大批量生产：某汽车内饰件企业采用腔体式真空等离子清洗机（腔体容积165L，单层有效处理面积W510mm x D510mm），通过数控技术轻松对各种参数进行调节，对PP、ABS等改性塑料表面进行分子级清洁与活化，显著提升后续包覆、涂装或粘接工序的附着力与良率。设备配有多个料车，通过推车上下料，方便快速，处理周期短，产能高。

航空航天复材处理：某航空制造企业选用定制化腔体式真空等离子清洗机，腔体最大兼容产品尺寸达2m x 2m，采用仿真模拟优化后的离子反应空间设计，处理更均匀，配备自主研发等离子源实现自动化精准匹配，对碳纤维复合材料进行表面活化处理，提升后续粘接和涂装工序的质量。

产品参数

设备名称	腔体式真空等离子清洗机
设备型号	YJ-VPO-BR330
输入电源	380V / AC
等离子功率	2000W / 40KHz
工作气体	Ar、H2、N2、CDA (多种气体可选)
腔体尺寸	550mm(L)410mm(W)450mm(H)
腔体容积	100L
托盘层数	8层
有效处理面积	180(L)101(W)mm291(H)mm*8
输入气体压力	0.4-0.8Mpa
流量范围	0-200sccm
设备尺寸	960mm(L)1120mm(W)1670mm(H)