真空等离子处理设备
真空等离子处理设备属于中型真空等离子处理设备，腔体容量为60升至120升，采用不锈钢或铝合金真空腔体，利用射频电源（通常为13.56MHz）将工艺气体（如氧气、氩气等）电离生成高活性等离子体，对材料表面进行全方位清洗与活化。通过精准控制等离子体能量与材料相互作用，处理温度控制在30-60℃，避免热敏材料变形。
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- 产品描述
- 应用案例
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- 商品名称: 真空等离子处理设备
- 产品型号: YJ-P
真空等离子处理设备属于中型真空等离子处理设备，腔体容量为60升至120升，采用不锈钢或铝合金真空腔体，利用射频电源（通常为13.56MHz）将工艺气体（如氧气、氩气等）电离生成高活性等离子体，对材料表面进行全方位清洗与活化。通过精准控制等离子体能量与材料相互作用，处理温度控制在30-60℃，避免热敏材料变形。
特点：
- 真空腔体采用不锈钢或铝合金制作，坚固耐用，工艺参数自由调节；
- 处理温度低，可低至40℃，节约能耗，缩短工艺流程；
- 异向等离子体可进入超细狭缝进行全方位清洗；
- 处理过程不使用酸碱等化工原料，环保无污染；
- 可去除灰尘和油污，精细清洗和去静电，提高表面附着能力、粘接可靠性和持久性，支持AF/AS层褪镀；
- 电极板可调整，适用不同产品形状及尺寸，可选择不同工艺处理。
应用行业：
半导体、电子、LED（去除光刻胶、氧化物）、塑料橡胶（清除脱模剂、油污，活化难粘塑料如PP、PTFE）、医疗器械（导管、支架超洁净处理）、纤维（亲水改性）、金属（去除油脂、氧化层）、印刷包装、手机电脑数码、汽车、医疗等。
应用案例：
LED封装前处理：某LED封装企业采用80L真空等离子清洗机对LED支架进行封装前清洗和活化处理，以射频激发氩气/氧气混合气体产生高密度等离子体（密度可达10^10 cm^-3），有效去除支架表面的有机污染物和氧化层，表面温度控制在60℃以下，不损伤芯片。处理后封装结合强度显著提高，封装失效率大幅降低。
医疗器械处理：某医疗器材制造企业使用120L真空等离子清洗机对医用导管和支架进行超洁净处理，异向等离子体可进入超细狭缝进行全方位清洗，表面活化后增强了抗菌涂层附着力，处理过程不使用化学试剂，符合医疗器械的洁净度和安全性要求。
产品参数
输入电源/功率/频率 380V 3.5kw 50/60Hz 380V 5kw 50/60Hz 等离子功率 600w/13. 56MHz 2000W/40KHz 工作气体 AR.H2.02.N2(多路气体可选) 气体通道 2路气体(可选配) 腔体尺寸 490*340*490mm(L*W*H内腔) 腔体容积 80L 托盘层数 8 floor 有效处理面积 402*300mm (L*W) 输入空气压力 0.4 ~ 0.8Mpa 流量范围 0-200sccm 真空泵 BSV60[油泵(可选配干泵)】 真空计 英福康 inficon/爱发科 ulvac 流量计 warwick质量流量计 PLC/HMI 研成、汇川、台达、威纶通、工控一体机 气路元器件 亚德客、SMC 传感器 欧姆龙、松下、国产优质品牌 设备尺寸 650L*593W*405Hmm 注意:腔体结构和核心配件可以跟据实际使用需求进行个性化定制和选配。
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