低温等离子体
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你可能不知道，同样是低温等离子体，激发它的频率不一样，脾气和本事也差得很远。常见的低温等离子体激发频率主要有这么几种。有一种是40千赫兹的，产生的叫超声等离子体。还有一种是13.56MHZ我们常说的射频等离子体。再往上走，2.45GHZ，属于微波等离子体。这三种频率不同，形成的机理也不一样，最关键的区别在于它们各自产生的“自偏压”相差很大。超声等离子体的自偏压大约有一千伏，比较高。射频等离子体大概在两百五十伏左右。而微波等离子体就很低了，只有几十伏。
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