大型真空等离子清洗机
大型真空等离子清洗机具有超大型真空处理腔室（可达数百升至数千升级别），适合大尺寸产品或大批量产品的批次式等离子处理。通过物理轰击与化学反应双重作用，实现材料表面的高效清洗、活化、刻蚀与改性。超大的处理空间显著提升了处理产能。
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- 产品描述
- 应用案例
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- 商品名称: 大型真空等离子清洗机
- 产品型号: YJ-VPO-BG600
大型真空等离子清洗机具有超大型真空处理腔室（可达数百升至数千升级别），适合大尺寸产品或大批量产品的批次式等离子处理。通过物理轰击与化学反应双重作用，实现材料表面的高效清洗、活化、刻蚀与改性。超大的处理空间显著提升了处理产能。
特点：
- 超大型真空处理腔室，适合大尺寸产品批次处理；
- 采用数字控制技术，自动化程度高，时间控制精度高；
- 正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；
- 在真空中进行，不污染环境，保证清洗表面不被二次污染；
- 在线式大型设备可实现温度、真空值、反应气体实时检测，PLC微电脑控制系统，无缝对接MES系统，适合各种形状产品，通用性高；
- 整个工艺流程效率极高，可改善材料表面润湿能力，增强粘合力、键合力，去除有机污染物、油污或油脂。
应用行业：
印制线路板行业（高频板表面活化、多层板表面清洁去钻污、软板及软硬结合板表面清洁）、半导体IC领域、汽车电子行业、航空工业、硅胶/塑胶/聚合体领域等。
应用案例：
汽车内饰件量产处理：某大型汽车零部件企业采用3000L-5000L真空等离子清洗机对汽车内饰件（PP、ABS等改性塑料）进行分子级清洁与活化。设备采用定制化卧式矩形腔体与多层电极架构，配合高功率射频电源系统，批量处理效率大幅提升。处理后内饰件表面活化效果均匀，后续包覆和涂装工序的附着力与良率显著提高。
PCB多层板去钻污：某PCB制造企业在高多层印制线路板生产中，采用大型真空等离子清洗机对钻孔后的板面进行等离子去钻污处理，物理轰击与化学反应双重作用下，孔壁的环氧树脂残留（钻污）被有效清除，为后续孔金属化提供了洁净的表面，确保了镀铜层的附着可靠性和导通性能。
产品参数
设备名称 大型真空等离子清洗机 设备型号 YJ-VPO-BG600 输入电源 380V 等离子功率 600W / 13.56MHz 工作气体 Ar、H2、N2、CDA (多路气体可选) 腔体尺寸 640mm(L)*368mm(W)*140mm(H) 腔体体积 20L 流量通道 4通道 (可定制) 有效处理面积 Max:300(L)mm*100mm(W) Min:150(L)mm*40mm(W) 流量范围 0-150sccm 真空泵 TVP干泵 UPH 350pcs-750pcs/H 设备尺寸 1800mm(L)*1200mm(W)*1750mm(H)
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